EP级精馏装置

EP 级精馏装置，即 Electronic Pure 级精馏装置，是专为电子工业设计的高精度气体提纯设备。它通过多次、精密的精馏过程，去除气体中的微量杂质（如水分、金属离子、碳氢化合物等），最终使气体纯度达到99.999%（5N）以上，部分场景可实现 99.9999%（6N）纯度。主要应用于半导体芯片制造、光伏电池生产、高端电子元件加工等领域，为刻蚀、沉积等关键工艺提供高纯度电子特气（如氢气、氧气、氨气等），直接影响产品良率与性能。

二、核心工作原理

基于 “不同物质沸点差异” 的精馏原理，结合电子级生产的严苛要求，流程分为三步：

1. 预处理阶段：原料气先经过过滤、干燥等预处理，去除大部分固体颗粒与水分，避免后续设备堵塞或污染。

2. 精密精馏阶段：预处理后的气体进入特制精馏塔，塔内通过塔板或填料增加气液接触面积。利用塔底加热、塔顶冷凝的循环，使气体中的易挥发组分（目标气体）与难挥发组分（杂质）反复分离，逐步提升纯度。

3. 后提纯阶段：从精馏塔顶部产出的气体，再经过吸附、膜分离等二次提纯，进一步降低微量杂质含量，最终达到 EP 级标准。

三、关键技术特点

1. 材质特殊：为满足极致提纯需求，EP 级精馏装置接触气体的部件（如精馏塔、管道、阀门）多采用 316L 不锈钢或哈氏合金，且内壁经过电解抛光（EP 抛光），减少杂质吸附与溶出。

2. 控制精准：配备高精度温度、压力、流量传感器与自动控制系统，可实时调节精馏参数（如塔内温度差控制在 ±0.1℃内），确保纯度稳定。

3. 超低泄漏设计：采用无死角密封结构与氦质谱检漏技术，泄漏率控制在 1×10⁻⁹ Pa・m³/s 以下，防止外界杂质渗入。